Micro Electro Mechanical System Design /
Contenido: Introducción; Proceso de fabricación; Tecnologías de los MEMS (sistemas microelectromecánicos); Temas en ascenso sobre MEMS; Diseño de herramientas de realización para MEMS; Electromecánica; Modelado y diseño; Sensores y acuadores MEMS; Empaque; Confiabilidad.
Guardado en:
| Hovedforfatter: | |
|---|---|
| Format: | Bog |
| Sprog: | engelsk |
| Udgivet: |
Boca Ratón, EUA :
Taylor and Francis,
2005, c2005
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| Serier: | (Mechanical Engineering ;
192) |
| Fag: | |
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