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Micro Electro Mechanical System Design /

Contenido: Introducción; Proceso de fabricación; Tecnologías de los MEMS (sistemas microelectromecánicos); Temas en ascenso sobre MEMS; Diseño de herramientas de realización para MEMS; Electromecánica; Modelado y diseño; Sensores y acuadores MEMS; Empaque; Confiabilidad.

Guardat en:
Autor principal: Allen, James J. (autor)
Format: Llibre
Idioma:anglès
Publicat: Boca Ratón, EUA : Taylor and Francis, 2005, c2005
Col·lecció:(Mechanical Engineering ; 192)
Matèries:
Sistemas Microelectromecánicos - > Diseño y Construcción - > Tema Principal
Dispositivos Electromecánicos
Microtecnología
Microelectrónica
Ingeniería Electrónica
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