Micro Electro Mechanical System Design /
Contenido: Introducción; Proceso de fabricación; Tecnologías de los MEMS (sistemas microelectromecánicos); Temas en ascenso sobre MEMS; Diseño de herramientas de realización para MEMS; Electromecánica; Modelado y diseño; Sensores y acuadores MEMS; Empaque; Confiabilidad.
-д хадгалсан:
| Үндсэн зохиолч: | |
|---|---|
| Формат: | Ном |
| Хэл сонгох: | англи |
| Хэвлэсэн: |
Boca Ratón, EUA :
Taylor and Francis,
2005, c2005
|
| Цуврал: | (Mechanical Engineering ;
192) |
| Нөхцлүүд: | |
| Шошгууд: |
Шошго байхгүй, Энэхүү баримтыг шошголох эхний хүн болох!
|
| Тойм: | Contenido: Introducción; Proceso de fabricación; Tecnologías de los MEMS (sistemas microelectromecánicos); Temas en ascenso sobre MEMS; Diseño de herramientas de realización para MEMS; Electromecánica; Modelado y diseño; Sensores y acuadores MEMS; Empaque; Confiabilidad. |
|---|---|
| Биет тодорхойлолт: | 465 p. |
| ISBN: | 0-8247-5824-2 |