MEMS : A Practical Guide to Design, Analysis, and Applications /
Contenido: Operación de micro transductores; Propiedades de materiales: mediciones y datos; Simulación de MEMS y NEMS; Simulación del nivel de sistema de microsistemas; Microsensores térmicos; Detectores de fotones; MEMS ópticos del espacio libre; Micro óptica integrada; Microsensores de campos magn...
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| 1. Verfasser: | |
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| Weitere Verfasser: | |
| Format: | Buch |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
Norwich, EUA : Heidelberg, Alemania :
William Andrew ; Springer,
2006, c2006
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