MEMS : A Practical Guide to Design, Analysis, and Applications /

Contenido: Operación de micro transductores; Propiedades de materiales: mediciones y datos; Simulación de MEMS y NEMS; Simulación del nivel de sistema de microsistemas; Microsensores térmicos; Detectores de fotones; MEMS ópticos del espacio libre; Micro óptica integrada; Microsensores de campos magn...

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Detalles Bibliográficos
Autor principal: Korvink, Jan G (ed.)
Otros autores: Paul, Oliver (edición)
Formato: Libro
Idioma:Inglés
Publicado: Norwich, EUA : Heidelberg, Alemania : William Andrew ; Springer, 2006, c2006
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