MEMS : A Practical Guide to Design, Analysis, and Applications /
Contenido: Operación de micro transductores; Propiedades de materiales: mediciones y datos; Simulación de MEMS y NEMS; Simulación del nivel de sistema de microsistemas; Microsensores térmicos; Detectores de fotones; MEMS ópticos del espacio libre; Micro óptica integrada; Microsensores de campos magn...
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| Главный автор: | |
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| Другие авторы: | |
| Формат: | |
| Язык: | английский |
| Опубликовано: |
Norwich, EUA : Heidelberg, Alemania :
William Andrew ; Springer,
2006, c2006
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| Предметы: | |
| Метки: |
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| Итог: | Contenido: Operación de micro transductores; Propiedades de materiales: mediciones y datos; Simulación de MEMS y NEMS; Simulación del nivel de sistema de microsistemas; Microsensores térmicos; Detectores de fotones; MEMS ópticos del espacio libre; Micro óptica integrada; Microsensores de campos magnéticos; Microsensores mecánicos; Microsensores químicos de semiconductores; Microfluídica; Sistemas biomédicos; Microactuadores; Tecnología de micromáquinas; Tecnología LIGA para investigación y desarrollo, aplicaciones industriales; Circuitos de interfaces y microsistemas. |
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| Объем: | XXV, 965 p. |
| ISBN: | 0-8155-1497-2 3-540-21117-9 |