MEMS : A Practical Guide to Design, Analysis, and Applications /
Contenido: Operación de micro transductores; Propiedades de materiales: mediciones y datos; Simulación de MEMS y NEMS; Simulación del nivel de sistema de microsistemas; Microsensores térmicos; Detectores de fotones; MEMS ópticos del espacio libre; Micro óptica integrada; Microsensores de campos magn...
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| Autor principal: | |
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| Otros autores: | |
| Formato: | Libro |
| Idioma: | Inglés |
| Publicado: |
Norwich, EUA : Heidelberg, Alemania :
William Andrew ; Springer,
2006, c2006
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| Temas: | |
| Etiquetas: |
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| Resumen: | Contenido: Operación de micro transductores; Propiedades de materiales: mediciones y datos; Simulación de MEMS y NEMS; Simulación del nivel de sistema de microsistemas; Microsensores térmicos; Detectores de fotones; MEMS ópticos del espacio libre; Micro óptica integrada; Microsensores de campos magnéticos; Microsensores mecánicos; Microsensores químicos de semiconductores; Microfluídica; Sistemas biomédicos; Microactuadores; Tecnología de micromáquinas; Tecnología LIGA para investigación y desarrollo, aplicaciones industriales; Circuitos de interfaces y microsistemas. |
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| Descripción física: | XXV, 965 p. |
| ISBN: | 0-8155-1497-2 3-540-21117-9 |