MEMS : A Practical Guide to Design, Analysis, and Applications - Korvink, Jan G (William Andrew ; Springer)
Contenido: Operación de micro transductores; Propiedades de materiales: mediciones y datos; Simulación de MEMS y NEMS; Simulación del nivel de sistema de microsistemas; Microsensores térmicos; Detectores de fotones; MEMS ópticos del espacio libre; Micro óptica integrada; Microsensores de campos magnéticos; Microsensores mecánicos; Microsensores químicos de semiconductores; Microfluídica; Sistemas biomédicos; Microactuadores; Tecnología de micromáquinas; Tecnología LIGA para investigación y desarrollo, aplicaciones industriales; Circuitos de interfaces y microsistemas.