CMOS Cantilever Sensor Systems : Atomic Force Microscopy and Gas Sensing Applications /

Guardat en:
Dades bibliogràfiques
Autor principal: Lange, Dirk (autor)
Altres autors: Brand, Oliver (autor) (autor), Baltes, Henry (autor) (autor)
Format: Llibre
Idioma:anglès
Publicat: Berlín, Alemania : Springer, 2002, c2002
Col·lecció:(Microtechnology and MEMS)
Matèries:
Etiquetes: Afegir etiqueta
Sense etiquetes, Sigues el primer a etiquetar aquest registre!