CMOS Cantilever Sensor Systems : Atomic Force Microscopy and Gas Sensing Applications /
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| Autor principal: | |
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| Otros autores: | , |
| Formato: | Libro |
| Idioma: | Inglés |
| Publicado: |
Berlín, Alemania :
Springer,
2002, c2002
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| Colección: | (Microtechnology and MEMS)
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| Temas: | |
| Etiquetas: |
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| Descripción física: | VIII, 142 p. |
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| ISBN: | 3-540-43143-8 |