CMOS Cantilever Sensor Systems : Atomic Force Microscopy and Gas Sensing Applications /
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | , |
| Формат: | |
| Язык: | английский |
| Опубликовано: |
Berlín, Alemania :
Springer,
2002, c2002
|
| Серии: | (Microtechnology and MEMS)
|
| Предметы: | |
| Метки: |
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
Схожие документы: CMOS Cantilever Sensor Systems :
- Fabrication of Silicon Microprobes for Optical Near-Field Applicationes /
- Nano-Optics /
- Microelectrónica en el vehículo motorizado /
- Nanotechnology : Basic Science and Emerging Technologies /
- Applications in Electro-Optics /
- Infrared Technology : Applications to Electrooptics, Photonic Devices, and Sensors /