CMOS Cantilever Sensor Systems : Atomic Force Microscopy and Gas Sensing Applications /

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Bibliográfalaš dieđut
Váldodahkki:	Lange, Dirk (autor)
Eará dahkkit:	Brand, Oliver (autor) (autor), Baltes, Henry (autor) (autor)
Materiálatiipa:	Girji
Giella:	eaŋgalasgiella
Almmustuhtton:	Berlín, Alemania : Springer, 2002, c2002
Ráidu:	(Microtechnology and MEMS)
Fáttát:	Sensores Opticos Sensores Microscopio Electrónico Gases - > Medición Semiconductores Circuitos Electrónicos - > Diseño y Construcción Optica - > Equipo y Aparatos Optoelectrónica Nanotecnología Microtecnología Ingeniería Electrónica
Fáddágilkorat:	Lasit fáddágilkoriid Eai fáddágilkorat, Lasit vuosttaš fáddágilkora!

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