Chemical Physics of Thin Film Deposition Processes for Micro- and Nano-Technologies /

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Ente Autore: NATO Advanced Study Institute [Course] on Chemical Physics of Thin Film Deposition Processes for Micro- and Nano-Technologies ( Organización del Tratado del Atlántico Norte)
Altri autori: Pauleau, Yves (edición) (edición)
Natura: Atti del Convegno Libro
Lingua:inglese
Pubblicazione: Dordrecht, Holanda : Kluwer, 2002, c2002
Serie:(NATO Science. Series II : Mathematics, Physics and Chemistry ; 55)
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