Chemical Physics of Thin Film Deposition Processes for Micro- and Nano-Technologies /

Guardado en:
Detalles Bibliográficos
Autor corporativo: NATO Advanced Study Institute [Course] on Chemical Physics of Thin Film Deposition Processes for Micro- and Nano-Technologies ( Organización del Tratado del Atlántico Norte)
Otros autores: Pauleau, Yves (edición)
Formato: Procedimiento de la conferencia Libro
Idioma:Inglés
Publicado: Dordrecht, Holanda : Kluwer, 2002, c2002
Colección:(NATO Science. Series II : Mathematics, Physics and Chemistry ; 55)
Temas:
Etiquetas: Agrega una etiqueta
Sin etiquetas, Sé el primero en etiquetar este registro!