Chemical Physics of Thin Film Deposition Processes for Micro- and Nano-Technologies /
Sparad:
| Institutionellt upphov: | |
|---|---|
| Övriga upphov: | |
| Materialtyp: | Konferenspublikation Bok |
| Språk: | engelska |
| Utgiven: |
Dordrecht, Holanda :
Kluwer,
2002, c2002
|
| Serie: | (NATO Science. Series II : Mathematics, Physics and Chemistry ;
55) |
| Ämnen: | |
| Taggar: |
Inga taggar, Lägg till första taggen!
|
| Fysisk beskrivning: | XIII, 363 p. |
|---|---|
| ISBN: | 1-4020-0525-3 |