Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique : A Manual of Wet-Etched Silicon Structures /
Guardado en:
| Autor principal: | |
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| Formato: | Libro |
| Idioma: | Inglés |
| Publicado: |
Berlín, Alemania :
Springer,
2005, c2005
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| Acceso en línea: | Ver documento en línea |
| Etiquetas: |
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| Descripción física: | 1 libro electrónico en línea (XII, 222 p.) 1 recurso en línea |
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| ISBN: | 978-3-540-26876-5 |
| Acceso: | Licencias ilimitadas |