Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique : A Manual of Wet-Etched Silicon Structures /
Furkejuvvon:
| Váldodahkki: | |
|---|---|
| Materiálatiipa: | Girji |
| Giella: | eaŋgalasgiella |
| Almmustuhtton: |
Berlín, Alemania :
Springer,
2005, c2005
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| Liŋkkat: | Ver documento en línea |
| Fáddágilkorat: |
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