Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique : A Manual of Wet-Etched Silicon Structures /
Guardat en:
| Autor principal: | |
|---|---|
| Format: | Llibre |
| Idioma: | anglès |
| Publicat: |
Berlín, Alemania :
Springer,
2005, c2005
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| Etiquetes: |
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