Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique : A Manual of Wet-Etched Silicon Structures /
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | |
| Язык: | английский |
| Опубликовано: |
Berlín, Alemania :
Springer,
2005, c2005
|
| Online-ссылка: | Ver documento en línea |
| Метки: |
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|