MEMS : Design and Fabrication /

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Gad-el-Hak, Mohamed (ed.)
Format:	Buch
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	Boca Ratón, EUA : Taylor and Francis : CRC Press, 2006, c2006
Ausgabe:	2a edición
Schriftenreihe:	(Mechanical Engineering Series CRC)
Schlagworte:	Sistemas Microelectromecánicos - > Diseño y Construcción - > Tema Principal Microelectrónica Microtecnología Control - > Teoría Ingeniería
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