Fundamentals of Microfabrication /

Salvato in:

Dettagli Bibliografici
Autore principale:	Madou, Marc J. (autor)
Natura:	Libro
Lingua:	inglese
Pubblicazione:	Boca Ratón, EUA : CRC Press, 1997, c1997
Soggetti:	Circuitos Integrados - > Diseño y Construcción Litografía Fotolitografía Dispositivos Electromecánicos - > Diseño y Construcción Láser - > Equipo y Aparatos Electrónica - > Equipo y Aparatos Microelectrónica Microtecnología Industria Electrónica
Tags:	Aggiungi Tag Nessun Tag, puoi essere il primo ad aggiungerne!!

MARC


LEADER	00000nam^a2200000^a^4500
001	000134980
005	20260814000000.0
009	20260815111159.164
020			\|a 0-8493-9451-1
037			\|a Acervo ITESO - Biblioteca
041			\|a ING
082			\|a 621. 38152 \|b MAD
100			\|a Madou, Marc J. \|e (autor)
240	1	1	\|a [Fundamentals of Microfabrication]
245	1	0	\|a Fundamentals of Microfabrication / \|c M.J. Madou.
264		4	\|a Boca Ratón, EUA : \|b CRC Press, \|c 1997, c1997
300			\|a 589 p.
336			\|a texto \|b txt \|2 rdacontenido
337			\|a sin mediación \|b n \|2 rdamedio
338			\|a volumen \|b nc \|2 rdasoporte
649			\|a XX
650			\|a Circuitos Integrados - \|x Diseño y Construcción
650			\|a Litografía
650			\|a Fotolitografía
650			\|a Dispositivos Electromecánicos - \|x Diseño y Construcción
650			\|a Láser - \|x Equipo y Aparatos
650			\|a Electrónica - \|x Equipo y Aparatos
650			\|a Microelectrónica
650			\|a Microtecnología
650			\|a Industria Electrónica
910			\|a Fondo General
920			\|a Impresos - Libros
930			\|a Colección General
905			\|a 101
901			\|a 0500063887 \|b IT1 \|c ACC \|u 20260814
902			\|a https://opac.biblio.iteso.mx/vufind/Record/000134980