Fundamentals of Microfabrication /

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Madou, Marc J. (autor)
Format:	Buch
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	Boca Ratón, EUA : CRC Press, 1997, c1997
Schlagworte:	Circuitos Integrados - > Diseño y Construcción Litografía Fotolitografía Dispositivos Electromecánicos - > Diseño y Construcción Láser - > Equipo y Aparatos Electrónica - > Equipo y Aparatos Microelectrónica Microtecnología Industria Electrónica
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