Microsensors /
Recopilación de diversas aportaciones referentes a los microsensores: se hace una revisión del tema, se trata la tecnología de fabricación y las propiedades de los materiales, los semiconductores cristalinos, las superficies delgadas, la integración con procesos electrónicos de fabricación, el empac...
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| Autor principal: | |
|---|---|
| Formato: | Libro |
| Idioma: | Inglés |
| Publicado: |
Nueva York, EUA :
IEEE,
1991, c1990
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