Microsensors /

Recopilación de diversas aportaciones referentes a los microsensores: se hace una revisión del tema, se trata la tecnología de fabricación y las propiedades de los materiales, los semiconductores cristalinos, las superficies delgadas, la integración con procesos electrónicos de fabricación, el empac...

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Dades bibliogràfiques
Autor principal: Muller, Richard S. (ed.)
Format: Llibre
Idioma:anglès
Publicat: Nueva York, EUA : IEEE, 1991, c1990
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