Microsensors - Muller, Richard S. (IEEE)
Recopilación de diversas aportaciones referentes a los microsensores: se hace una revisión del tema, se trata la tecnología de fabricación y las propiedades de los materiales, los semiconductores cristalinos, las superficies delgadas, la integración con procesos electrónicos de fabricación, el empacado de los microsensores, los principios de transducción por microsensores, microestructuras para aislamiento térmico, películas sensitivas, etc.