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Contenido: Introducción; Sensores inerciales; Micromáquinas de sensores de presión: Dispositivos, interfaces, circuitos y límites del funcionamiento; Dispositivos de micromáquinas de superficie; Microactuadores; Sensores y actuadores para flujos turbulentos; Microrobótica; Bombas de vacío a microesc...

Full description

Bibliographic Details

Main Author:	Gad-el-Hak, Mohamed (ed.)
Format:	Book
Language:	English
Published:	Boca Ratón, EUA : Taylor and Francis : CRC Press, 2006, c2006
Edition:	2a edición
Series:	(Mechanical Engineering Series CRC)
Subjects:	Sistemas Microelectromecánicos - > Tema Principal Sensores Robots Control Hidráulico Actuadores (Electrónica) Microtecnología Control Automático - > Equipo y Aparatos Ingeniería
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