MEMS : Applications /
Contenido: Introducción; Sensores inerciales; Micromáquinas de sensores de presión: Dispositivos, interfaces, circuitos y límites del funcionamiento; Dispositivos de micromáquinas de superficie; Microactuadores; Sensores y actuadores para flujos turbulentos; Microrobótica; Bombas de vacío a microesc...
Zapisane w:
| 1. autor: | |
|---|---|
| Format: | Książka |
| Język: | angielski |
| Wydane: |
Boca Ratón, EUA :
Taylor and Francis : CRC Press,
2006, c2006
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| Wydanie: | 2a edición |
| Seria: | (Mechanical Engineering Series CRC)
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| Hasła przedmiotowe: | |
| Etykiety: |
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