Electroceramic-Based MEMS : Fabrication-Technology and Applications /
Salvato in:
| Autore principale: | |
|---|---|
| Natura: | Libro |
| Lingua: | inglese |
| Pubblicazione: |
Nueva York, EUA :
Springer,
2005, c2005
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| Serie: | (Electronic Materials: Science and Technology)
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| Soggetti: | |
| Tags: |
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