Electroceramic-Based MEMS : Fabrication-Technology and Applications /
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
Nueva York, EUA :
Springer,
2005, c2005
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| Schriftenreihe: | (Electronic Materials: Science and Technology)
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| Schlagworte: | |
| Tags: |
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