Introduction to Microelectromechanical Microwave Systems /

Contenido: Sistemas microelectromecánicos (MEMS); Fundamentos microelectromecánicos de dispositivos físicos; Fundamentos microelectromecánicos de dispositivos: el interruptor MEM; Fundamentos micro-electromecánicos de dispositivos: El resonador MEM; Aplicaciones microelectromecánicos de microondas;...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Santos, Héctor J. de los (autor)
Format: Buch
Sprache:Englisch
Veröffentlicht: Boston, EUA : Artech House, 2004, c2004
Ausgabe:2a edición
Schriftenreihe:(Artech House Microelectromechanical Systems Series)
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