Introduction to Microelectromechanical Microwave Systems - Santos, Héctor J. de los ((Artech House Microelectromechanical Systems Series))
Contenido: Sistemas microelectromecánicos (MEMS); Fundamentos microelectromecánicos de dispositivos físicos; Fundamentos microelectromecánicos de dispositivos: el interruptor MEM; Fundamentos micro-electromecánicos de dispositivos: El resonador MEM; Aplicaciones microelectromecánicos de microondas; Circuitos y sistemas basados en microelectromecánicos de microondas.