An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering /
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
Boston, EUA :
Artech House,
2000, c2000
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| Schriftenreihe: | (Artech House Microelectromechanical Systems Series)
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| Schlagworte: | |
| Tags: |
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