An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering /

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Detalhes bibliográficos
Autor principal: Maluf, Nadim (autor)
Formato: Livro
Idioma:inglês
Publicado em: Boston, EUA : Artech House, 2000, c2000
Colecção:(Artech House Microelectromechanical Systems Series)
Assuntos:
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Descrição
Descrição Física:XIX, 265 p.
ISBN:0-89006-581-0