Electroceramic-Based MEMS : Fabrication-Technology and Applications /
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| Autor principal: | |
|---|---|
| Formato: | Livro |
| Idioma: | inglês |
| Publicado em: |
Nueva York, EUA :
Springer,
2005, c2005
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| Colecção: | (Electronic Materials: Science & Technology)
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| Acesso em linha: | Ver documento en línea |
| Tags: |
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