Low Temperature Plasma Physics : Fundamental Aspects and Applications /

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Detalhes bibliográficos
Outros Autores:	Hippler, Rainer (autor) (autor)
Formato:	Livro
Idioma:	inglês
Publicado em:	Berlín, Alemania : Wiley-VCH, 2001, c2001
Assuntos:	Plasma (Gases Ionizados) Análisis Espectroscópico Colisiones (Física Nuclear) Películas Delgadas Temperaturas Bajas Materia - > Propiedades Equilibrio Químico Cinética Química Microtecnología Tecnología Dinámica del Plasma Termodinámica Física del Plasma
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