Fabrication of Silicon Microprobes for Optical Near-Field Applicationes /

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Dettagli Bibliografici
Autore principale:	Minh, Phan Ngoc (autor)
Altri autori:	Takahito, Ono (autor) (autor), Masayoshi, Esashi (autor) (autor)
Natura:	Libro
Lingua:	inglese
Pubblicazione:	Boca Ratón, EUA : CRC Press, 2002, c2002
Soggetti:	Microtecnología Microscopio Electrónico Microscopio y Microscopía Silicio Semiconductores Microelectrónica Optica - > Equipo y Aparatos Optoelectrónica Tecnología Electrónica Ingeniería Electrónica
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