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Handbook of Sensors and Actuators : Micro Mechanical Systems : Principles and Technology /

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Autore principale: Fukuda, Toshio (ed.)
Altri autori: Menz, W. (edición) (edición), Middelhoek, Simón (edición general) (edición general)
Natura: Libro
Lingua:inglese
Pubblicazione: Amsterdam, Holanda : Elsevier, 2002, c1998
Serie:(Handbook of Sensors and Actuators ; 6)
Soggetti:
Sensores
Silicio
Fotolitografía
Sistemas Microelectromecánicos - > Tema Principal
Microprocesadores
Microtecnología
Control Automático
Electrónica - > Equipo y Aparatos
Ingeniería Electrónica
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