Handbook of Sensors and Actuators : Micro Mechanical Systems : Principles and Technology /

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書誌詳細
第一著者:	Fukuda, Toshio (ed.)
その他の著者:	Menz, W. (edición) (edición), Middelhoek, Simón (edición general) (edición general)
フォーマット:	図書
言語:	英語
出版事項:	Amsterdam, Holanda : Elsevier, 2002, c1998
シリーズ:	(Handbook of Sensors and Actuators ; 6)
主題:	Sensores Silicio Fotolitografía Sistemas Microelectromecánicos - > Tema Principal Microprocesadores Microtecnología Control Automático Electrónica - > Equipo y Aparatos Ingeniería Electrónica
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