Thin Films Technology : Practical Manual For The Laboratory Works - Axelevitch, Alexander (World Scientific)
Contiene: 1) Preparación de los experimentos; 2) Leyes de los gases y técnicas de vacío; 3) Deposición física al vacío, pulverización catódica; 4) Planificación de experimentos, optimización y presentación de datos; 5) Propiedades ópticas y espesos de películas delgadas; 6) Propiedades eléctricas de películas delgadas.