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mods: Precursor Chemistry of Advanced Materials CVD, ALD and Nanoparticles Roland A. Fischer creator (edición) text monographic ING 1 libro electrónico en línea (XVII, 214 p.) 1 recurso en línea Licencias ilimitadas Catalogación rápida XX Libro en línea (Topics in Organometallic Chemistry) 978-3-540-31451-6 1616-8534 Acervo ITESO - Biblioteca https://link-springer-com.ezproxy.iteso.mx/10.1007/b75019 Licencias ilimitadas 000604575