MEMS Mechanical Sensors Beeby, Stephen (autor) text monographic ING X, 269 p. Contenido: Introducción; Materiales y técnicas de fabricación; Simulación de MEMS y diseño de herramientas; Sensores mecánicos empaquetados; Técnicas de transducción mecánica; Sensores de presión; Sensores de fuerza y torque; Sensores de inercia; Sensores de flujo. S. Beeby... [et al.]. XX Sensores - Diseño y Construcción Transductores Sistemas Microelectromecánicos Microelectrónica Microtecnología Ingeniería Electrónica 681. 2 MEM (Artech House Microelectromechanical Systems Series) 1-58053-536-4 Acervo ITESO - Biblioteca 20260624000000.0 000183085