Handbook of Sensors and Actuators Micro Mechanical Systems : Principles and Technology [Handbook of Sensors and Actuators] Fukuda, Toshio creator (ed.) Menz, W. (edición) Middelhoek, Simón (edición general) text monographic ING VIII, 268 p. Ed. de T. Fukuda, W. Menz ; ed. de la serie de S. Middelhoek. XX Sensores Silicio Fotolitografía Sistemas Microelectromecánicos - Tema Principal Microprocesadores Microtecnología Control Automático Electrónica - Equipo y Aparatos Ingeniería Electrónica 681. 2 MID V. 6 (Handbook of Sensors and Actuators ; 6) 0-444-82363-8 Acervo ITESO - Biblioteca 20260624000000.0 000136114